| 負壓槽面積[mm] | φ1700 |
| 傘架尺寸圖[mm] | φ1600 |
| 密度[mm] | W5,000×D7,000×H3,024 |
| 重量[kg] | 9,341 |
| 排氣口體制 | 22 inchDP×2邁斯納冷阱 |
| 基鋼板加熱 | 鹵素燈泡燈 or 蒸汽加熱絲 ~350℃ |
| 電子槍 | 180° or 270°定位型 |
| 鐵離子源 | 柵網式RF正離子源 φ130,180,230 |
| 光學玻璃膜厚儀 | Lafio Plus |
| 珍珠膜厚儀 | 單 or 六連攝像頭 + COAT LEADER |
| 另一個 | CP尺寸，TMP尺寸，轉動板醫院，自公轉冶具, 阻蒸，直連風控, ECO22 |
